伯东企业（上海）有限公司伯东企业（上海）有限公司hakuto 离子刻蚀机 20IBE 刻蚀滤波器钽酸锂晶片产品详情

hakuto 离子刻蚀机 20IBE 刻蚀滤波器钽酸锂晶片

产品参数品牌：超宝加工定制：是机器类型：加香机用途：家用原理：超声波产品特点安徽某晶体厂商采用 hakuto 离子刻蚀机 20IBE-J 刻蚀滤波器钽酸锂晶片, 采用间歇式离子束刻蚀方法,解决了刻蚀区微裂纹工艺问题, 使厚度为60μm钽酸锂晶片减薄至30μm. Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 技术参数: Φ4 inch X 12片基片尺寸 Φ4 inch X 12片 Φ5 inch X 10片 Φ6 inch X 8片均匀性 ±5% 硅片刻蚀率 20 nm/min 样品台直接冷却,水冷离子源 Φ20cm 考夫曼离子源 Hakuto 离子刻蚀机 20IBE-J 的核心构件离子源采用的是伯东公司代理美国考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的射频离子源 RFICP220 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数: 离子源型号 RFICP 220 Discharge RFICP 射频离子束流 >800 mA 离子动能 100-1200 V 栅**直径 20 cm Φ 离子束聚焦, 平行, 散射流量 10-40 sccm 通气 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型压力 < 0.5m Torr 中和器 LFN 2000 晶体滤波器的用途越来越广泛, 尤其在通信机和雷达设备中, 都需要高频率、大带宽的晶体滤波器. 目前,晶体滤波器使用的主要材料是石英晶体, 由于其具有高品质因数(Q)值、良好的温度稳定性和时间稳定性, 在精度要求很高的窄带滤波器中具有很大的优越性. 若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 : 上海伯东 : 罗先生台湾伯东 : 王小姐 T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049 M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw 伯东版权所有, 翻拷必究！产品实拍伯东企业（上海）有限公司高低温试验箱离子源制冷剂真空阀门公司简介伯东公司成立于1953 年，*范围内有一千七百名员工。

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